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中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司座落于辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号，公司创立于1958年，多年来，公司专注于高真空、超高真空、洁净真空技术的研究和发展，是我国集成电路装备和真空仪器设备的研制、生产基地，先后组建“国家分子束外延技术试验基地”、“国家多功能电子能谱仪生产基地”、“国家真空仪器装置工程技术研究中心”和“真空技术装备国家工程实验室”等科研平台。
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江阴爱尔姆真空设备有限公司公司成立于2012年，是一家主营各类干式真空泵及真空系统成套设备的高新技术企业，是集产品研发、结构设计、生产制造、组装测试、销售和安装调试于一体的综合性整机厂家，拥有丰富的专业技术与行业经验。它与江阴天田容器制造有限公司、江阴市绿松机械有限公司、无锡润久天机械有限公司和常州唐庄生态园同属江苏绿松科技集团旗下。
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