高真空挡板阀

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米洛创新(深圳)有限公司专注于一体式气动高真空挡板阀，高度紧凑的结构设计，千万次动作寿命，250℃耐温性能，工匠精神，创新理念

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高真空挡板阀米洛创新(深圳)有限公司中文高真空挡板阀米洛创新(深圳)有限公司Togglenavigation主页产品优势关于米洛联系方式专注全球领先的一体式气动高真空挡板阀精益求精的性能、寿命、外观美感与服务内置灰尘过滤器;屈服强度高达1700MPa的177PH耐高温不锈钢弹簧(寿命>1000万次)；四个信号指示(电磁阀LED、阀开启位置LED、阀关闭位置LED、机械伸出指示)；任意可调电气接头朝向；磁性开关的抗干扰型磁触发设计…………产品选型资料下载一体式真空阀(专利产品) ● 阀门特点：内部集成电磁阀、磁性开关、航空插头、灰尘过滤器、消声器、信号指示灯等部件，加上内置型气缸结构，形成高度紧凑的一体式结构。 ● 阀体口径：ISOKDN63，KF50，KF40，KF25，KF16，KF10● 阀体材料：铝A6061(外部喷砂氧化，内部铝本体精加工)，不锈钢316L(一体式加工无焊缝，内外抛光)● 可选型号：常开，常闭，角阀，直通阀性能参数手动真空阀(专利产品) ● 阀门特点：转动旋钮90°，即可实现阀门的开启与关闭；开关到位后自动锁紧；精心设计的人体舒适扭力。 ● 阀体口径：KF40，KF25，KF16，KF10● 阀体材料：铝A6061(外部喷砂氧化，内部铝本体精加工)，不锈钢316L(一体式加工无焊缝，内外抛光)● 密封形式：超高寿命316L金属波纹管性能参数二段控制真空阀(专利产品) ● 通过PID控制，以±0.02mm的精度控制阀门的阀板打开高度，使阀门处于闭合、部分打开、完全打开这三个状态，实现阀门的二段控制功能，即带软启动功能。 ● 与传统的双阀门双电磁阀的二段式阀门的电气接线完全一样，客户在电气接线上无需要做任何更改。 ●阀板高度可以实时调整，可调高度范围为0.7~3.7mm。 ● 外观与MAC一体式真空角阀的尺寸一致。 性能参数泄压型真空阀 ● 兼具真空阀与过压保护功能● 当腔室侧的压力超过大气侧20KPa时，阀板会完全打开（可根据客户要求设计合适的压力）● 腔室抽真空时，阀板会自动吸合密封，泄漏率11Pa*m3/s。 ● 外观尺寸同MAC系列● 型号示例：MACKF25ALG性能参数外置型真空阀 ● 传统型阀门，电磁阀与磁性开关置于阀体外部，客户需要自配电磁阀与磁性开关，可选常闭、常开以及双作用● 适合于阀岛集中控制●超高寿命金属成型波纹管，千万次动作寿命性能参数超高真空阀 ● CF法兰，超高真空应用● 阀体采用SUS316L不锈钢一体加工而成，无任何焊缝，内外表面采用抛光处理，适合对真空要求极高与极可靠的场景● 内漏与外漏的泄漏率12Pa*m3/s。 性能参数松开阀体上部的四个螺钉，电气接头的朝向可以在四个侧面之间进行调节，这可使设备的电气接线更合理，紧凑。 电气接头为航空插头GX166，出厂标配的母接头为直线型，同时也可选配90°弯接头，电气接线的朝向可在四个方向上进行调节。 通过的传热设计，室温时米洛阀门中的电磁阀在持续开启状态下，温度仅有37℃，在250℃下持续工作气流下，电磁阀温度只有85℃(最高使用温度110℃)；同时采用耐高温的磁性开关和弹簧，这使得米洛阀门可以稳定工作在极限温度250℃(氟橡胶的最高使用温度)。 传统的磁场触发的方式(左)，二个磁性开关一般需要间隔20mm以上，否则易产生干扰，而这会导致阀门体积的增加；米洛公司研发的专利型磁性开关的磁场触发方式(右)，通过精巧的磁触发设计，二个磁性开关在位置完全重合下依旧可以独立工作，相互之间具有极高的抗干扰性。 专注  精细  创新        米洛创新(深圳)有限公司是一家专注于研发和生产一体化高真空气动挡板阀的创新型企业。 本公司生产的一体化高真空气动挡板阀(专利产品)，具有高度紧凑的结构设计，浑然天成的外观美感，高达千万次的动作寿命，优异的耐温性能，并提供三个月包退一年保修的售后服务。 区别于市场上其他阀门厂商的大而全，我们追求专注、精细、创新的工匠精神，专注于擅长的优势技术，致力于为客户提供精益求精、高品质的产品。        本公司研发的一体化高真空气动挡板阀采用独创的阀体内置气缸设计(专利技术)，并实现了电磁阀、二线制霍尔磁性开关、LED指示灯、航空电气插头、进气接头、灰尘过滤器和消声器等组件的高度集成(专利技术)。 通过创新性的波纹管设计及多项稳定性技术改进(核心技术创新)，本阀门的寿命在全球范围内处于领先地位，可达千万次。 这些技术创新不仅提升了产品的可靠性和耐用性，也极大地优化了空间利用率和设备维护的便利性。     特别是，本公司为高真空挡板阀研发的二线制霍尔磁性开关(专利产品)，具备超低的6μA漏电流和低至2.5V的工作压降，其工作电流高达500mA，克服了传统二线制霍尔磁性开关的多项缺点。 此外，我们研发的三线制霍尔磁性开关(专利产品)创新性地兼容NPN与PNP型PLC，解决了传统三线制霍尔磁性开关的局限。 而专为高真空挡板阀设计的磁性开关触发磁路(专利产品)，具有行业最高的抗干扰特性，其创新的磁路设计确保了即便磁性开关间隔极小也不会相互干扰，有效减小了挡板阀的体积，保证了磁性开关的触发可靠性。        另外，本公司研发的手动真空挡板阀(专利产品)，具有独创的结构与外观，更加省力与省时的优势。 本公司开发的二段控制真空挡板阀(专利产品)，在行业内具有更加小巧的体积，更为精巧的控制技术。 专注  精细  创新联系人：周峰+8618927487345edison@miroinno.com深圳市宝安区石岩街道民营路4号诚强工业园1栋二楼      我司的一体式真空阀已经经过市场的充分验证，具有极高的使用寿命。 该产品通过在结构、外观、波纹管技术、磁性开关和磁场技术等多个方面的技术创新，以及在稳定性方面的多项改进，拥有业内七大领先优势。 优势1：高度紧凑的结构设计，浑然天成的外观美感(专利产品)     本公司的挡板阀通过精巧的结构设计（专利结构）实现了阀体内部元件的完全集成，包括内置型气缸、电磁阀、两个二线制霍尔磁性开关、三个LED指示灯（及一个机械指示）、六针航空电气插头、6mm进气接头、100微米灰尘过滤器和消声器。 这种一体式的精巧设计赋予了米洛挡板阀小巧的整体尺寸和浑然天成的外观美感。 相比市面上的其他气动挡板阀，采用米洛阀门的工程设备结构更精巧，电气布线也更合理。 优势2：千万次动作寿命，极佳的稳定性(核心技术创新)    本公司的挡板阀波纹管采用创新性设计和严苛测试，通过异波距、特殊柔性化处理、特殊表面处理等技术改进，实现了卓越的寿命表现。 具体而言，KF40金属成型波纹管（SUS316L材质）的寿命约为1500万次，KF25和KF16的寿命约为1000万次，KF50（SUS316L材质）的寿命超过650万次。        实际应用案例显示，在锂电生产线的氦检步骤中，KF25型号阀门以数秒一次的高频率动作，批量化稳定运行超过1200万次寿命。         阀门中的其他动作部件均设计为千万级动作寿命，包括自润滑气缸、耐高温不锈钢弹簧（屈服强度高达1700MPa）、以及采用光耦与大功率三极管设计的磁性开关等；同时，为防止潜在的误操作导致的故障，磁性开关具有防短路和防反接功能，电磁阀也可防反接，灰尘过滤器可防止因使用非洁净气源导致的电磁阀堵塞。         具体部件的寿命如下：        A．KF40金属成型波纹管寿命(SUS316L)≈1500万次        B．KF25、KF16金属成型波纹管寿命(SUS316L)≈1000万次        C．弹簧寿命>1000万次(材料：冷轧回火177PH不锈钢，屈服强度>1700Mpa)        D．气缸寿命>2000万次(理论寿命)        E．电磁阀寿命>5000万次(不超过电磁阀工作温度状态下，测试数据由厂家提供)        F．二线制霍尔磁性开关寿命>1亿次以上（具有防短路、防反接、防浪涌功能，保证电压不超过28V时，任意错误接线都不会导致损坏）        阀门寿命测试方法       本公司可为OEM客户提供试用样品，客户可将样品直接安装在设备上测试，也可以单独进行寿命测试（主要是测试波纹管寿命），寿命测试方法如下图：        1、用氦质谱检漏仪对整个真空管路进行检漏，确保真空管路没有任何漏点（如无检漏仪，也可以用后续的保压法代替，但在安装管路时必须严格检查真空密封面）。         2、为待测试的高真空挡板阀供气和供电，并以每0.86秒的进行一次开关动作（即为电磁阀提供0.86秒的24V电压，再断开0.86秒），在这个频率下，每24小时的动作次数为10万次。         3、高真空挡板阀开始动作以后，打开手动阀和机械泵，第一次对整个管路抽真空4小时以上，然后关阀手动阀进行保压，再关闭机械泵。         4、在低真空环境中，由于管路内部的放气，真空计气压会缓慢上升，最终会稳定在几十帕～二三百帕（取决于管路的洁净性及以抽气时间），当高真空挡板阀中的波纹管因疲劳而产生任何微小裂痕后，裂痕会在很短时间内迅速扩大，从而导致气压急剧上升到几千帕甚至大气压。         5、通过观察真空计的气压是否剧变，统计阀门的运行天数N：寿命=10万次*N        备注1：KF25，KF16建议以20万次/每天的频率测试。         备注2：大气环境下的波纹管的管壁应力远远小于真空环境，故寿命测试必须在真空环境中进行。         备注3：焊接波纹管只适合洁净环境下使用，在有尘环境下，灰尘积累到焊接波纹管的焊缝处，会造成焊接波纹管寿命的显著下降。 另外，焊接波纹管由于焊缝非常多，可能存在瑕疵焊缝而影响寿命的稳定性，故一般情况下，本公司不推荐客户使用焊接波纹管。 优势3：250℃稳定工作气流温度      电磁阀的电磁线圈是在高温环境下最易发生故障的部件之一。 在室温条件下，持续开启的电磁阀表面温度可能超过80℃，而其最高工作温度为110℃。 米洛公司设计的挡板阀中的电磁阀采用了高效的散热和隔热设计，使得在室温下电磁线圈表面温度仅为37℃。 这是通过将电磁阀的电磁线圈通过柔性导热介质粘贴在阀体最上方温度最低的盖板上，并利用盖板进行自然散热来实现的。 即使在气流温度达到250℃的条件下，电磁线圈表面温度也仅为85℃，保证了电磁阀能够长时间稳定工作。    此外，米洛阀门还采用了耐高温的磁性开关、屈服强度高达1700MPa的耐高温不锈钢弹簧，以及耐高温的气缸润滑脂。 这些部件在高温环境下的循环使用次数远优于市场上其他品牌的相应部件。 相比之下，市场上某些挡板阀品牌的电磁阀温度偏高，并且使用的是不耐高温的机械触点传感器，导致这些部件需要作为易损耗的备件进行处理。       环境温度为25℃，米洛阀门中的电磁阀表面的温升曲线为：       环境温度为25℃，气流温度为250℃，流速为1.2m/s时，电磁阀表面的温升曲线为(注：250℃为氟橡胶的最高工作温度，此温度下氟橡胶的寿命将会缩短)。 ：优势4：领先的二线制磁性开关，超低的6μA漏电流(专利产品)      目前市场上应用在气缸上的位置传感有下面四种      干簧管：干簧管虽然价格便宜、漏电流为0且工作稳定性高，但其脆弱性大，在高度30cm的跌落就可能损坏，运输和安装过程中风险高，通常不适合用作产品传感器。       机械开关：机械开关价格低廉，标称开启次数超过30万次，即便是标称1000万次以上的知名品牌，实际应用中也可能发生故障。       霍尔磁性开关(三线制)：三线制霍尔磁性开关虽然没有跌落损坏的风险，理论寿命超过1亿次，漏电流小（约100μA），但其接线复杂，且需要根据不同的PLC选择PNP或NPN型号，这给工程设计、选型和电气布线带来了不便，故在挡板阀中的应用相对较少。       霍尔磁性开关(二线制)：只有二根接线(与干簧管和机械开关相同)，适应所有PLC，实用性强，应用更加广泛。 传统的二线制霍尔磁性开关虽适配所有PLC、实用性强且应用广泛，但其较大的漏电流（约1mA，某些极端情况下可能触发错误信号）和较小的负载力（几十毫安）是主要缺点，使得在某些情况下不得不采用三线制磁性开关。    米洛公司开发的二线制霍尔磁性开关（专利产品）突破了这一限制。 由超微功率稳压管、超微功率霍尔磁性开关、光耦和大功率三极管等电子元件构成，静态工作电流仅为6μA，工作压降仅为2.5V，而稳定工作电流可达0.5A。 以日本某S*C品牌最常用的二线制霍尔磁性开关DM9B为例，性能对比如下：BrandMiroJapanS*C/DM9BTypeTwowireTwowireLoadvoltage528V1028VLeakcurrent6μA0.8mA(800μA)Voltagedrop2.5V4VMax.current<500mA<40mA优势5：四种信号集中指示，便于设备的调试与维护      米洛挡板阀特设四种信号集中显示功能，包括机械杆指示、电磁阀电源信号指示、代表阀门开启的磁性开关信号指示以及代表阀门关闭的磁性开关信号指示。 这四种信号的组合不仅提高了调试的效率，也大大简化了设备的维护工作。 通过这种设计，客户能够快速准确地识别和解决问题，确保设备运行的稳定性和可靠性。       A.机械指示            机械杆伸出：阀门开启。             机械杆下降：阀门关闭。       B.电磁阀电源红色LED            红色LED亮：电磁阀电源已接通。             红色LED灭：电磁阀电源已断开。       C.上部磁性开关LED指示(黄色)            黄色信号LED亮(上部)：上部磁性开关闭合，阀门开启。             黄色信号LED灭(上部)：上部磁性开关断开，阀门关闭。       D.下部磁性开关LED指示(黄色)            黄色信号LED亮(下部)：下部磁性开关闭合，阀门关闭。             黄色信号LED灭(下部)：下部磁性开关断开，阀门开启。       通过这四种信号指示，可以快速判断设备的状态。 比如电磁阀电源红色LED亮，但阀门的机械杆没有伸出，表示气源的压力不够。 如果阀门的机械杆已经伸出（阀门实际处于开启状态），但上部磁性开关的黄色信号LED不亮，表示磁性开关的24V接线出现松动等。 优势6：电气接头朝向任意可调，可使设备的电气布线更加合理、简洁，美观      电气接头设计灵活，可以轻松调整至阀体的任一侧面，客户可根据需要选择直接头或弯接头。 弯接头提供四种不同的朝向选择，这一设计极大地增强了电气布线的合理性、简洁性和美观性。 通过灵活调整接头方向，不仅可以使设备电气布线更加整齐，还有助于提高整体设备的外观和使用功能，确保安装过程中的便捷性和设备运行时的高效性。    优势7：抗干扰磁触发信号方式（专利技术）        市场上的双磁性开关信号设备通常要求两个磁性开关间隔20mm以上，以避免信号干扰，导致阀门体积增加。 本公司采用的专利磁路设计确保了两个磁性开关即使在任意间隔距离下（包括完全重叠）也不会相互干扰。 这种独特的磁场设计不仅保证了磁性开关的触发可靠性，还有效减小了挡板阀的体积。         此外，该磁场触发技术在稳定性方面展现出显著优势。 沿磁铁运动方向的磁场强度变化曲线非常陡峭，确保了触发位置的高精度可控性。 而在垂直于磁铁运动方向上，磁场强度的变化曲线相对平缓，大大减少了装配误差的影响。 这意味着磁性开关即使在垂直方向上靠近或远离磁铁，对触发位置也几乎没有影响，从而提高了整体设备的稳定性和可靠性。    售后服务：三个月包退，一年保修        米洛公司专注于为客户提供精益求精的、极高品质的气动高真空挡板阀，所有产品都提供三个月包退，一年保修的售后服务。 一体式高真空角阀（MAC,MAO）角阀尺寸表(单位：mm)modelABCDEFGZKF507878189109707032.210KF406565161.297.5656532.210KF255252136.578505032.28KF16424211361404032.24KF10424210761304032.24角阀模型下载：KF10 KF16 KF25 KF40 KF50 ISOKDN63 航空插头一体式高真空直通阀（MLC,MLO）直通阀尺寸表(单位：mm)modelABCDEGZKF50787817819818632.310KF406565130162.514832.210KF25525210013612232.28KF1642428011410432.24KF1042428011410432.24直通阀模型下载：KF10  KF16  KF25  KF40  KF50一体式真空阀性能参数可选通径ISOKDN63，KF50，KF40，KF25，KF16，KF10可选主体材质铝A6061，不锈钢SUS316动密封形式SUS316L金属成型波纹管驱动气源介质洁净的压缩的空气或惰性气体(过滤精度等级ISO857315.4.4)，6mm进气管驱动气源压力范围3.57bar典型气源压力6bar外泄漏率*11m3•Pa/sec(1×1010mbar•L/sec)泄漏率*10m3•Pa/sec(1×109mbar•L/sec)使用压力1×109mbarto2000mbar正向最大使用压力2000mbar反向最大使用压力1200mbar密封材料FKM最高工作气流温度250℃（阀体处于室温冷却环境）动作寿命KF40阀≈1500万次, KF25、KF16阀≈1000万次，KF50阀>650万次电磁阀额定电压24V(±%5)磁性开关电气参数电压5~28V，漏电流6μA，工作压降约2.5V，最大工作电流0.5A（带短路保护功能为0.35A）LED信号指示上部黄色LED亮(阀门开启)，下部黄色LED亮(阀门关闭），红色LED亮（电磁阀通电）机械伸出信号指示10mm（可根据客户定制0~10mm）*注1：外部泄漏率定义为外部空气渗透至阀门内部的速率，主要受密封面的质量和O型圈材料的影响。 外部泄漏可通过外部氦气检测发现（低质量的密封面可能依赖真空脂实现临时密封，但真空脂会随时间失效，从而导致外部泄漏加剧。 同时，真空脂还会增加阀门的内部泄漏）。 *注2：内部泄漏率受阀门内部清洁度和内部材料的放气性能影响。 油污和水渍会显著增加内部泄漏率（表现为检漏仪出现极高的本底）。 灰尘、O型圈材料和金属材料的内表面质量也是影响因素，如多孔性的阳极氧化层能严重影响内部泄漏率。 技术手册手动角阀（HAS）尺寸表(单位：mm)modelABCDEFKF406565158976565KF255252132785050KF164242107614040手动角阀模型下载：KF16  KF25  KF40手动直通阀（HLS）尺寸表(单位：mm)modelABCDKF406565158.5142KF255252132106KF16424210793手动直通阀模型下载：KF16  KF25  KF40性能参数可选通径KF40，KF25，KF16可选主体材质铝A6061，不锈钢SUS316L动密封SUS316L金属成型波纹管外泄漏率*11m3•Pa/sec(1×1010mbar•L/sec)泄漏率*10m3•Pa/sec(1×109mbar•L/sec)使用压力1×109mbarto2000mbar正向最大使用压力2000mbar反向最大使用压力1200mbar密封材料FKM最高工作气流温度250℃（阀体处于室温冷却环境）*注1：外部泄漏率定义为外部空气渗透至阀门内部的速率，主要受密封面的质量和O型圈材料的影响。 外部泄漏可通过外部氦气检测发现（低质量的密封面可能依赖真空脂实现临时密封，但真空脂会随时间失效，从而导致外部泄漏加剧。 同时，真空脂还会增加阀门的内部泄漏）。 *注2：内部泄漏率受阀门内部清洁度和内部材料的放气性能影响。 油污和水渍会显著增加内部泄漏率（表现为检漏仪出现极高的本底）。 灰尘、O型圈材料和金属材料的内表面质量也是影响因素，如多孔性的阳极氧化层能严重影响内部泄漏率。 技术手册二段控制真空阀（DAC,DLC）注：外观尺寸与3D模型请参照一体式真空阀控制方式：通过控制Input1与Input2的电压信号，可使阀门处于闭合、全开、部分打开这三个状态。 阀门为常闭型，即阀门在断电情况下为闭合状态。 Input1Input2阀门状态信号输出信号指示0V0V闭合SW2闭合LED2亮0Vor24V24V完全打开SW1闭合LED1亮24V0V部分打开LED3亮调节部分打开状态时的阀板高度：1.阀门进入部分打开状态(即Input1接24V电源信号，Input2无输入)。 2.阀板的可控高度范围为0.7~3.7mm，出厂设定的初始高度为0.7mm（最小可为客户定制0.4mm的打开高度）。 3.按下up键不松开，LED3每0.5秒闪动一次，阀板每隔0.5秒上升0.04mm，最大高度为3.7mm。 松开up键，阀板的位置信息会储存在阀门中，断电后可保持。 4.按下down键不松开，LED3每0.5秒闪动一次，阀板每隔0.5秒下降0.04mm，最小高度为0.7mm。 松开down键，阀板的位置信息会储存在阀门中，断电后可保持。 5.阀门在接入驱动气源的情况下，按下的up/down键不松开，阀板每隔0.5秒会实时上升/下降0.04mm；在不接入驱动气源的情况下，按下的up/down键，阀板的位置信息会储存在阀门中。 比如在第一次操作时，出厂设定的阀板高度为0.7mm，按下up键15秒钟，指示灯共闪动30次，则阀门部分打开时阀板的位置高度为0.7+0.04*(15/0.5)=1.9mm。 二段控制真空阀性能参数可选通径ISOKDN63，KF50，KF40可选主体材质铝A6061，不锈钢SUS316L可选波纹管SUS316L金属成型波纹管驱动气源介质洁净的压缩的空气或惰性气体(过滤精度等级ISO857315.4.4)，6mm进气管驱动气源压力3.0±0.2bar外泄漏率*11m3•Pa/sec(1×1010mbar•L/sec)泄漏率*10m3•Pa/sec(1×109mbar•L/sec)使用压力1×109mbarto2000mbar正向最大使用压力2000mbar反向最大使用压力1200mbar密封材料FKM最高工作气流温度250℃（阀体处于室温冷却环境）电磁阀额定电压24V(±%5)磁性开关电气参数电压5~28V，漏电流6μA，工作压降约2.5V，最大工作电流0.5A（带短路保护功能为0.35A）*注1：外部泄漏率定义为外部空气渗透至阀门内部的速率，主要受密封面的质量和O型圈材料的影响。 外部泄漏可通过外部氦气检测发现（低质量的密封面可能依赖真空脂实现临时密封，但真空脂会随时间失效，从而导致外部泄漏加剧。 同时，真空脂还会增加阀门的内部泄漏）。 *注2：内部泄漏率受阀门内部清洁度和内部材料的放气性能影响。 油污和水渍会显著增加内部泄漏率（表现为检漏仪出现极高的本底）。 灰尘、O型圈材料和金属材料的内表面质量也是影响因素，如多孔性的阳极氧化层能严重影响内部泄漏率。 技术手册泄压型真空阀注：外观尺寸与3D模型请参照一体式真空阀产品介绍●安装方法：下法兰接腔室，侧面法兰接大气。 ●当腔室侧的压力(P)超过大气侧(ATM)20KPa时，阀板会完全打开（可根据客户要求设计合适的压力）。 ●当腔室侧的压力(P)超过大气侧(ATM)约10KPa时，阀板开始会有微小泄漏。 ●腔室侧抽真空时，阀板会自动吸合密封。 ●外观尺寸同MAC系列一体式真空阀。 技术参数可选主体材质铝A6061，不锈钢SUS316L动密封FKM外泄漏率*12m3•Pa/sec(1×1011mbar•L/sec)泄漏率*11mbar•L/sec(1×1010m3•Pa/sec)反向最大使用压力≈10KPa最高工作气流温度250℃（阀体处于室温冷却环境）注：泄压型气动高真空角阀的二个法兰口中，侧面的法兰口接大气侧，底面的法兰应接真空侧。 腔室侧抽真空时，阀板会自动吸合密封。 腔室侧的压力(P)超过大气侧(ATM)约20KPa时，阀板完全打开。 技术手册泄压型真空阀注：外观尺寸与3D模型请参照一体式真空阀产品介绍●安装方法：下法兰接腔室，侧面法兰接大气。 ●当腔室侧的压力(P)超过大气侧(ATM)20KPa时，阀板会完全打开（可根据客户要求设计合适的压力）。 ●当腔室侧的压力(P)超过大气侧(ATM)约10KPa时，阀板开始会有微小泄漏。 ●腔室侧抽真空时，阀板会自动吸合密封。 ●外观尺寸同MAC系列一体式真空阀。 技术参数可选主体材质铝A6061，不锈钢SUS316L动密封FKM氟胶O型圈外泄漏率*11m3•Pa/sec(1×1010mbar•L/sec)泄漏率*1×1010mbar•L/sec(1×1011m3•Pa/sec)反向最大使用压力约10KPa（超过会使弹簧失去预紧力）最高工作气流温度250℃（阀体处于室温冷却环境）注：泄压型气动高真空角阀的二个法兰口中，侧面的法兰口接大气侧，底面的法兰应接真空侧。 腔室侧抽真空时，阀板会自动吸合密封。 腔室侧的压力(P)超过大气侧(ATM)约20KPa时，阀板完全打开。 技术手册外置型角阀（NAC,NAO,NAS）尺寸表(单位：mm)modelABCDEFKF40656514597.56565KF255252121785050KF16424296614040模型下载：KF16 KF25 KF40性能参数可选通径KF40，KF25，KF16可选主体材质铝A6061，不锈钢SUS316L动密封SUS316L金属成型波纹管外泄漏率*11m3•Pa/sec(1×1010mbar•L/sec)泄漏率*10m3•Pa/sec(1×109mbar•L/sec)使用压力1×109mbarto2000mbar正向最大使用压力2000mbar反向最大使用压力1200mbar密封材料FKM最高工作气流温度250℃（阀体处于室温冷却环境）*注1：外部泄漏率定义为外部空气渗透至阀门内部的速率，主要受密封面的质量和O型圈材料的影响。 外部泄漏可通过外部氦气检测发现（低质量的密封面可能依赖真空脂实现临时密封，但真空脂会随时间失效，从而导致外部泄漏加剧。 同时，真空脂还会增加阀门的内部泄漏）。 *注2：内部泄漏率受阀门内部清洁度和内部材料的放气性能影响。 油污和水渍会显著增加内部泄漏率（表现为检漏仪出现极高的本底）。 灰尘、O型圈材料和金属材料的内表面质量也是影响因素，如多孔性的阳极氧化层能严重影响内部泄漏率。 技术手册超高真空角阀尺寸表(单位：mm)modelABCDEFCF40656515997.562.862.8CF164242111593838模型下载：CF16 CF40性能参数可选通径CF40，CF16可选主体材质不锈钢SUS316L(一体加工无焊缝，镜面抛光)动密封SUS316L金属成型波纹管外泄漏率*12m3•Pa/sec(1×1011mbar•L/sec)泄漏率*12m3•Pa/sec(1×1011mbar•L/sec)使用压力1×109mbarto2000mbar正向最大使用压力2000mbar反向最大使用压力1200mbar密封材料FKM最高工作气流温度250℃（阀体处于室温冷却环境）*注1：外部泄漏率定义为外部空气渗透至阀门内部的速率，主要受密封面的质量和O型圈材料的影响。 外部泄漏可通过外部氦气检测发现（低质量的密封面可能依赖真空脂实现临时密封，但真空脂会随时间失效，从而导致外部泄漏加剧。 同时，真空脂还会增加阀门的内部泄漏）。 *注2：内部泄漏率受阀门内部清洁度和内部材料的放气性能影响。 油污和水渍会显著增加内部泄漏率（表现为检漏仪出现极高的本底）。 灰尘、O型圈材料和金属材料的内表面质量也是影响因素，如多孔性的阳极氧化层能严重影响内部泄漏率。 3D模型下载一体式高真空角阀：KF10 KF16 KF25 KF40 KF50 ISOKDN63 航空插头一体式高真空直通阀：KF10  KF16  KF25  KF40  KF50手动角阀：KF16  KF25  KF40手动直通阀：KF16  KF25  KF40外置型角阀：KF16 KF25 KF40超高真空角阀：CF16 CF40技术手册米洛创新(深圳)有限公司产品介绍.pdf一体式高真空挡板阀使用手册.pdf一体式真空挡板阀维护手册.pdf手动高真空挡板阀技术手册.pdf二段控制高真空挡板阀技术参数.pdf外置型高真空角阀技术参数.pdf泄压型高真空挡板阀说明书.pdf阀门寿命测试方法.pdf注：一般气动角阀的二个法兰口中，侧面的法兰口应接高压侧，底面的法兰应接低压侧（真空侧），这样阀门可为系统提供最安全的密封稳定性。 米洛阀门也可以采用反向接法，阀门内部弹簧能提供足够的预紧力，可以满足O型圈的压紧力和一个大气压的反推力。 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