浙江艾微普科技有限公司

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浙江艾微普科技有限公司、 物理气相沉积/磁控溅射（PVD）、 离子束刻蚀机（IBE）、 反应离子刻蚀机（RIE）等系列MEMS、 半导体、 新能源器件制造专用设备、 硬盘、 MEMS、

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艾微普公司由美国硅谷企业家团队与国内著名上市企业天通公司(TDG)合作，在浙江海宁创立。公司聚集了多位海内外资深微纳加工及半导体设备、工艺、材料专家，专注打造世界先进水平的高端微纳器件、半导体、及新能源加工设备。

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浙 江 艾 微 普 科 技 有 限 公 司 选 择 语 言 中 文 版 E n g l i s h 首 页 公 司 概 况 公 司 简 介 愿 景 使 命 社 会 责 任 产 品 技 术 薄 膜 沉 积 薄 膜 刻 蚀 其 他 设 备 支 持 与 服 务 新 闻 中 心 企 业 动 态 行 业 动 态 联 系 我 们 首 页 公 司 概 况 公 司 简 介 愿 景 使 命 社 会 责 任 产 品 技 术 薄 膜 沉 积 薄 膜 刻 蚀 其 他 设 备 支 持 与 服 务 新 闻 中 心 企 业 动 态 行 业 动 态 联 系 我 们 中 文 版 S e a r c h 为 客 户 提 供 全 面 的 设 备 和 工 艺 解 决 方 案 • 薄 膜 沉 积 • 薄 膜 刻 蚀 • 定 制 设 备 浏 览 更 多 → 为 客 户 提 供 全 面 的 设 备 和 工 艺 解 决 方 案 • 薄 膜 沉 积 • 薄 膜 刻 蚀 • 定 制 设 备 浏 览 更 多 → 为 客 户 提 供 全 面 的 设 备 和 工 艺 解 决 方 案 • 薄 膜 沉 积 • 薄 膜 刻 蚀 • 定 制 设 备 浏 览 更 多 → 产 品 中 心 为 客 户 提 供 全 面 的 设 备 和 工 艺 解 决 方 案 A V P I B E S y s t e m 广 泛 适 用 所 有 材 料 刻 蚀 ， 包 括 R I E 难 以 刻 蚀 的 A u 、 P t 、 M o 等 难 熔 金 属 、 F e 、 C o 、 N i 等 磁 性 材 料 、 陶 瓷 、 氧 化 物 、 多 层 膜 、 倾 斜 光 栅 等 。 成 熟 、 可 靠 、 低 成 本 、 高 产 能 、 7 / 2 4 连 续 运 行 的 薄 膜 刻 蚀 系 统 欧 美 工 业 生 产 验 证 的 、 多 种 成 熟 的 薄 膜 刻 蚀 工 艺 杰 出 的 薄 膜 刻 蚀 均 匀 性 和 重 复 性 广 泛 适 用 所 有 材 料 刻 蚀 ， 包 括 R I E 难 以 刻 蚀 的 A u 、 P t 、 M o 等 难 熔 金 属 、 F e 、 C o 、 N i 等 磁 性 材 料 、 陶 瓷 、 氧 化 物 、 多 层 浏 览 更 多 A V P H R P V D S y s t e m 高 浓 度 离 子 辅 助 的 倾 角 溅 射 （ D i r e c t i o n a l S p u t t e r i n g ） 高 速 率 反 应 溅 射 ， 如 A l 2 O 3 的 沉 积 速 率 > 1 n m / s 优 异 的 薄 膜 厚 度 均 匀 性 （ 1 σ 基 片 背 面 氦 气 冷 却 ， 基 片 温 度 （ 高 靶 材 使 用 率 （ > 8 0 % ） 高 浓 度 离 子 辅 助 的 倾 角 溅 射 （ D i r e c t i o n a l S p u t t e r i n g ） 高 速 率 反 应 溅 射 ， 如 A l 2 O 3 的 沉 浏 览 更 多 支 持 与 服 务 为 客 户 提 供 全 面 的 设 备 和 工 艺 解 决 方 案 专 家 支 持 专 家 支 持 服 务 ， 提 供 7 / 2 4 现 场 及 远 程 设 备 及 工 艺 诊 断 和 改 进 。 先 进 的 工 业 控 制 系 统 提 供 国 际 工 业 生 产 验 证 的 ， 长 期 稳 定 的 全 自 动 设 备 控 制 系 统 。 定 制 和 升 级 系 统 提 供 定 制 设 备 化 制 造 和 设 备 改 造 升 级 。 客 户 至 上 的 原 则 全 心 全 意 为 客 户 服 务 ， 为 客 户 成 功 助 力 。 关 于 艾 微 普 为 客 户 提 供 全 面 的 设 备 和 工 艺 解 决 方 案 专 注 打 造 世 界 先 进 水 平 的 高 端 微 纳 器 件 、 半 导 体 、 及 新 能 源 加 工 设 备 公 司 由 美 国 硅 谷 企 业 家 团 队 与 国 内 著 名 上 市 企 业 天 通 公 司 ( T D G ) 合 作 ， 在 浙 江 海 宁 创 立 。 公 司 聚 集 了 多 位 海 内 外 资 深 微 纳 加 工 及 半 导 体 设 备 、 工 艺 、 材 料 专 家 ， 专 注 打 造 世 界 先 进 水 平 的 高 端 微 纳 器 件 、 半 导 体 、 及 新 能 源 加 工 设 备 。 公 司 的 核 心 技 术 和 产 品 包 括 物 理 气 相 沉 积 / 磁 控 溅 射 （ P V D ） 、 离 子 束 刻 蚀 机 （ I B E ） 、 反 应 离 子 刻 蚀 机 （ R I E ） 等 系 列 M E M S 、 半 导 体 、 新 能 源 器 件 制 造 专 用 设 备 。 公 司 自 创 立 以 来 ， 已 经 获 得 几 十 项 国 家 专 利 。 浏 览 更 多 新 闻 资 讯 为 客 户 提 供 全 面 的 服 务 和 软 件 解 决 方 案 2 0 2 0 0 9 2 9 艾 微 普 设 备 亮 相 中 国 （ 上 海 ） 国 际 传 感 器 技 术 与 应 用 展 览 会 2 0 2 0 0 3 0 5 半 导 体 设 备 行 业 深 度 报 告 ： 国 产 突 破 正 加 速 ， 迎 来 中 长 期 投 资 机 会 2 0 2 0 1 1 0 4 艾 微 普 P V D , I B E 等 半 导 体 设 备 备 受 瞩 目 C H I N A N O 博 览 会 2 0 2 0 0 6 2 0 浙 江 艾 微 普 科 技 有 限 公 司 参 展 2 0 2 0 S E M I C O N C H I N A 公 司 总 部 中 国 浙 江 省 嘉 兴 市 海 宁 市 海 昌 街 道 芯 中 路 6 号 1 6 幢 快 速 导 航 关 于 我 们 产 品 技 术 支 持 与 服 务 联 系 我 们 产 品 技 术 薄 膜 沉 积 薄 膜 刻 蚀 其 他 设 备 手 机 网 站 支 持 与 服 务 下 载 联 系 我 们 询 问 艾 微 普 0 5 7 3 8 7 0 2 3 9 9 5 版 权 所 有 © 2 0 2 3 浙 江 艾 微 普 科 技 有 限 公 司         备 案 号 : 浙 I C P 备 2 0 0 0 4 1 4 7 号         技 术 支 持 ： 浙 江 炎 黄 在 线

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